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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

[交流] 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？

我的衬底是硅，然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶，我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话，能出来可以用的台阶吗？
或者把硅片掰断，会出现可以用的台阶吗？
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家，好像这东西质量不怎么好。
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1楼2013-11-06 15:56:25
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supernatural

荣誉版主 (文坛精英)
★ ★ ★ ★
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2013-11-06 16:48:28
划硅片的刀，我们用的是“中镜科仪”的
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2楼2013-11-06 16:47:33
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
随便拿个刀片或者坚硬的东西划下就行了 只要划得露出硅片就行！  金币金币 ！ 切开或者掰断的话断面很整齐的 不会出现台阶的
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4楼2013-11-06 19:23:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
无论用玻璃刀还是直接掰断，都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液，但不能腐蚀硅的，滴一滴在表面，把薄膜腐蚀掉，硅保留。在液滴周围就形成了台阶，就可以测了。
掰断硅片，可以用电镜来测。
玻璃刀嘛，好点儿的滚轮刀也才几十块钱一把
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5楼2013-11-07 14:56:15
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wj0702114081

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-07 14:56:15
无论用玻璃刀还是直接掰断，都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液，但不能腐蚀硅的，滴一滴在表面，把薄膜腐蚀掉，硅保留。在液滴周围就形成了台阶，就可以测了。
掰断硅片，可以用电镜来测。
玻璃刀嘛，好 ...

为什么不能用台阶仪测呢？是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢？
刻蚀的话会不会出现斜坡，然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了！我这边台阶仪一个样品50块钱，电镜一小时500。
现在还是初步测，所以如果能用台阶仪就最好。
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6楼2013-11-07 23:21:41
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mengyonghong

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果薄膜透明，可用椭偏仪直接检测，不用刻划

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼2013-11-08 07:02:22
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wj0702114081

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-11-08 07:02:22
如果薄膜透明，可用椭偏仪直接检测，不用刻划

好的，我查查相关资料。谢谢。
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8楼2013-11-08 08:39:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-11-07 23:21:41
为什么不能用台阶仪测呢？是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢？
刻蚀的话会不会出现斜坡，然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了！我这边台阶仪一个样品50块钱，电镜一小时500。
现在 ...

刻蚀不会有斜坡，腐蚀会的。斜坡足够小的话，并不会影响你的测量精度。
下次长膜的时候，用胶带或者别的东西遮住几个小区域，人为制造台阶出来，就可以用台阶仪测了。
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9楼2013-11-08 12:34:06
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doctorbang3楼
2013-11-06 18:37   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
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