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wj0702114081

金虫 (正式写手)

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[交流] 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？

我的衬底是硅，然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶，我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话，能出来可以用的台阶吗？
或者把硅片掰断，会出现可以用的台阶吗？
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家，好像这东西质量不怎么好。

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1楼2013-11-06 15:56:25

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wj0702114081

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-07 14:56:15
无论用玻璃刀还是直接掰断，都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液，但不能腐蚀硅的，滴一滴在表面，把薄膜腐蚀掉，硅保留。在液滴周围就形成了台阶，就可以测了。
掰断硅片，可以用电镜来测。
玻璃刀嘛，好 ...

为什么不能用台阶仪测呢？是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢？
刻蚀的话会不会出现斜坡，然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了！我这边台阶仪一个样品50块钱，电镜一小时500。
现在还是初步测，所以如果能用台阶仪就最好。