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wj0702114081

金虫 (正式写手)


[交流] 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗?

我的衬底是硅,然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶,我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话,能出来可以用的台阶吗?
或者把硅片掰断,会出现可以用的台阶吗?
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家,好像这东西质量不怎么好。
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wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2013-11-06 16:48:28
划硅片的刀,我们用的是“中镜科仪”的
2楼2013-11-06 16:47:33
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babyoflion

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
随便拿个刀片或者坚硬的东西划下就行了 只要划得露出硅片就行!  金币金币 ! 切开或者掰断的话断面很整齐的 不会出现台阶的
4楼2013-11-06 19:23:19
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
无论用玻璃刀还是直接掰断,都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液,但不能腐蚀硅的,滴一滴在表面,把薄膜腐蚀掉,硅保留。在液滴周围就形成了台阶,就可以测了。
掰断硅片,可以用电镜来测。
玻璃刀嘛,好点儿的滚轮刀也才几十块钱一把
5楼2013-11-07 14:56:15
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wj0702114081

金虫 (正式写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-07 14:56:15
无论用玻璃刀还是直接掰断,都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液,但不能腐蚀硅的,滴一滴在表面,把薄膜腐蚀掉,硅保留。在液滴周围就形成了台阶,就可以测了。
掰断硅片,可以用电镜来测。
玻璃刀嘛,好 ...

为什么不能用台阶仪测呢?是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢?
刻蚀的话会不会出现斜坡,然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了!我这边台阶仪一个样品50块钱,电镜一小时500。
现在还是初步测,所以如果能用台阶仪就最好。
6楼2013-11-07 23:21:41
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mengyonghong

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果薄膜透明,可用椭偏仪直接检测,不用刻划

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2013-11-08 07:02:22
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wj0702114081

金虫 (正式写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-11-08 07:02:22
如果薄膜透明,可用椭偏仪直接检测,不用刻划

好的,我查查相关资料。谢谢。
8楼2013-11-08 08:39:34
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-11-07 23:21:41
为什么不能用台阶仪测呢?是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢?
刻蚀的话会不会出现斜坡,然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了!我这边台阶仪一个样品50块钱,电镜一小时500。
现在 ...

刻蚀不会有斜坡,腐蚀会的。斜坡足够小的话,并不会影响你的测量精度。
下次长膜的时候,用胶带或者别的东西遮住几个小区域,人为制造台阶出来,就可以用台阶仪测了。
9楼2013-11-08 12:34:06
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2013-11-06 18:37   回复  
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