应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？
91/1返回列表
查看: 2685  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wj0702114081

金虫 (正式写手)

[交流] 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？

我的衬底是硅，然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶，我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话，能出来可以用的台阶吗？
或者把硅片掰断，会出现可以用的台阶吗？
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家，好像这东西质量不怎么好。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-11-06 15:56:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

supernatural

荣誉版主 (文坛精英)
★ ★ ★ ★
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2013-11-06 16:48:28
划硅片的刀，我们用的是“中镜科仪”的
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-06 16:47:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
随便拿个刀片或者坚硬的东西划下就行了 只要划得露出硅片就行！  金币金币 ！ 切开或者掰断的话断面很整齐的 不会出现台阶的
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2013-11-06 19:23:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
无论用玻璃刀还是直接掰断，都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液，但不能腐蚀硅的，滴一滴在表面，把薄膜腐蚀掉，硅保留。在液滴周围就形成了台阶，就可以测了。
掰断硅片，可以用电镜来测。
玻璃刀嘛，好点儿的滚轮刀也才几十块钱一把
赞一下 回复此楼
5楼2013-11-07 14:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-07 14:56:15
无论用玻璃刀还是直接掰断，都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液，但不能腐蚀硅的，滴一滴在表面，把薄膜腐蚀掉，硅保留。在液滴周围就形成了台阶，就可以测了。
掰断硅片，可以用电镜来测。
玻璃刀嘛，好 ...

为什么不能用台阶仪测呢？是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢？
刻蚀的话会不会出现斜坡，然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了！我这边台阶仪一个样品50块钱，电镜一小时500。
现在还是初步测，所以如果能用台阶仪就最好。
赞一下 回复此楼
6楼2013-11-07 23:21:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mengyonghong

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果薄膜透明，可用椭偏仪直接检测，不用刻划

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
7楼2013-11-08 07:02:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-11-08 07:02:22
如果薄膜透明，可用椭偏仪直接检测，不用刻划

好的，我查查相关资料。谢谢。
赞一下 回复此楼
8楼2013-11-08 08:39:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-11-07 23:21:41
为什么不能用台阶仪测呢？是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢？
刻蚀的话会不会出现斜坡，然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了！我这边台阶仪一个样品50块钱，电镜一小时500。
现在 ...

刻蚀不会有斜坡，腐蚀会的。斜坡足够小的话，并不会影响你的测量精度。
下次长膜的时候，用胶带或者别的东西遮住几个小区域，人为制造台阶出来，就可以用台阶仪测了。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2013-11-08 12:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
doctorbang3楼
2013-11-06 18:37   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 wj0702114081 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 336求调剂 +3 rmc8866 2026-03-21 3/150 2026-03-21 11:16 by 求调剂zz
[考研] 一志愿华中科技大学071000，求调剂 +3 沿岸有贝壳6 2026-03-21 3/150 2026-03-21 10:35 by 暮云清寒
[考研] 316求调剂 +6 梁茜雯 2026-03-19 6/300 2026-03-21 06:32 by Ecowxq666！
[考研] 070300化学319求调剂 +7 锦鲤0909 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:46 by JourneyLucky
[考研] 二本跨考郑大材料306英一数二 +3 z1z2z3879 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:29 by JourneyLucky
[考研] 297求调剂 +9 戏精丹丹丹 2026-03-17 9/450 2026-03-21 01:49 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +8 申子申申 2026-03-19 13/650 2026-03-21 00:09 by 刘国森
[考研] 308求调剂 +3 阿姐阿姐家啊 2026-03-18 3/150 2026-03-20 23:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中农业071010，总分320求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:38 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿北京化工大学0703化学318分，有科研经历，求调剂 +4 一瓶苯甲酸 2026-03-14 4/200 2026-03-20 20:36 by fen_rao
[考研] 295材料求调剂，一志愿武汉理工085601专硕 +5 Charlieyq 2026-03-19 5/250 2026-03-20 20:35 by JourneyLucky
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 10/500 2026-03-19 14:31 by lemonzzn
[考研] 一志愿985，本科211，0817化学工程与技术319求调剂 +10 Liwangman 2026-03-15 10/500 2026-03-19 10:25 by 无际的草原
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 6/300 2026-03-18 22:55 by 204818@lcx
[考研] 材料专硕306英一数二 +10 z1z2z3879 2026-03-16 13/650 2026-03-18 14:20 by 007_lilei
[考研] 一志愿苏州大学材料工程（085601）专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭