24小时热门版块排行榜    

查看: 2672  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)


[交流] 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗?

我的衬底是硅,然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶,我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话,能出来可以用的台阶吗?
或者把硅片掰断,会出现可以用的台阶吗?
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家,好像这东西质量不怎么好。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-11-07 23:21:41
为什么不能用台阶仪测呢?是不是台阶仪要求的台阶是比较整齐的呢?
刻蚀的话会不会出现斜坡,然后测出来的数据会比实际薄膜厚度小。
台阶仪主要是便宜太多了!我这边台阶仪一个样品50块钱,电镜一小时500。
现在 ...

刻蚀不会有斜坡,腐蚀会的。斜坡足够小的话,并不会影响你的测量精度。
下次长膜的时候,用胶带或者别的东西遮住几个小区域,人为制造台阶出来,就可以用台阶仪测了。
9楼2013-11-08 12:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
★ ★ ★ ★
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2013-11-06 16:48:28
划硅片的刀,我们用的是“中镜科仪”的
2楼2013-11-06 16:47:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
随便拿个刀片或者坚硬的东西划下就行了 只要划得露出硅片就行!  金币金币 ! 切开或者掰断的话断面很整齐的 不会出现台阶的
4楼2013-11-06 19:23:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
无论用玻璃刀还是直接掰断,都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液,但不能腐蚀硅的,滴一滴在表面,把薄膜腐蚀掉,硅保留。在液滴周围就形成了台阶,就可以测了。
掰断硅片,可以用电镜来测。
玻璃刀嘛,好点儿的滚轮刀也才几十块钱一把
5楼2013-11-07 14:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +5 慕寒mio 2026-03-16 5/250 2026-03-17 21:31 by hmn_wj
[考研] 302求调剂 +9 负心者当诛 2026-03-11 9/450 2026-03-17 17:13 by ruiyingmiao
[考研] 312求调剂 +4 陌宸希 2026-03-16 5/250 2026-03-17 17:09 by ruiyingmiao
[考研] 【0856】化学工程(085602)313 分,本科学科评估A类院校化学工程与工艺,诚求调剂 +7 小刘快快上岸 2026-03-11 8/400 2026-03-17 16:57 by ruiyingmiao
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考研] 0854可跨调剂,一作一项核心论文五项专利,省、国级证书40+数一英一287 +3 小李0854 2026-03-16 3/150 2026-03-17 13:40 by 热情沙漠
[考博] 26申博 +4 八旬速览 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 环境工程调剂 +6 大可digkids 2026-03-16 6/300 2026-03-16 17:16 by barlinike
[考研] 283求调剂 +10 小楼。 2026-03-12 14/700 2026-03-16 16:08 by 13811244083
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 招收0805(材料)调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] 一志愿中科院,化学方向,295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 Mochaaaa 2026-03-12 7/350 2026-03-13 22:18 by 星空星月
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
请填处理意见