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硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗?
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wj0702114081
金虫
(正式写手)
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(幼儿园)
金币: 752.4
帖子: 364
在线: 148小时
虫号: 1013700
[交流]
硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗?
我的衬底是硅,然后长了一层薄膜。
现在想在硅片中间位置做出一个台阶,我用硅片刀后者玻璃刀按压薄膜的话,能出来可以用的台阶吗?
或者把硅片掰断,会出现可以用的台阶吗?
另外求硅片刀哪里能买到。在网上看了一家,好像这东西质量不怎么好。
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2013-11-06 15:56:25
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mengyonghong
银虫
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帖子: 102
在线: 32.5小时
虫号: 2249262
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果薄膜透明,可用椭偏仪直接检测,不用刻划
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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7楼
2013-11-08 07:02:22
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supernatural
荣誉版主
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帖子: 11880
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虫号: 1714707
★ ★ ★ ★
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
wj0702114081: 金币+3, 谢谢
2013-11-06 16:48:28
划硅片的刀,我们用的是“中镜科仪”的
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2楼
2013-11-06 16:47:33
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babyoflion
金虫
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虫号: 2297725
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
随便拿个刀片或者坚硬的东西划下就行了 只要划得露出硅片就行! 金币金币 ! 切开或者掰断的话断面很整齐的 不会出现台阶的
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4楼
2013-11-06 19:23:19
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yswyx
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虫号: 446878
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
无论用玻璃刀还是直接掰断,都不能用台阶仪来测。
用你这个薄膜的腐蚀液,但不能腐蚀硅的,滴一滴在表面,把薄膜腐蚀掉,硅保留。在液滴周围就形成了台阶,就可以测了。
掰断硅片,可以用电镜来测。
玻璃刀嘛,好点儿的滚轮刀也才几十块钱一把
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5楼
2013-11-07 14:56:15
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