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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请教当衬底与薄膜之间存在失配时，失配应力对薄膜生长有何影响？
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云之骑士

禁虫 (小有名气)
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1楼 2013-01-08 09:53:48
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ltyz

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极回帖交流 2013-01-08 12:07:46
由于膜与基片的点阵失配，失配应力产生的应变能在膜生长过程中累积起来，当应变能被释放时，界面处形成的高能量就会激发岛状的生长
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一份耕耘一份收获
2楼2013-01-08 10:43:33
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云之骑士

禁虫 (小有名气)
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3楼2013-01-08 12:52:36
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
云之骑士: 金币+1, ★有帮助 2013-01-09 12:35:45
要是属于外延，外延层为单晶时候，由于晶格常数差异，外延层会引入应力。当外延层的厚度小于临界厚度时，外延层应力保持，晶体质量完好；当厚度超过临界厚度时，由于应力过大，就会在外延层中引入位错等缺陷，以释放外延层中的应力，恶化晶体的质量。
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奋斗。。。
4楼2013-01-08 23:07:13
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云之骑士

禁虫 (小有名气)
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5楼2013-01-09 12:44:30
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云之骑士

禁虫 (小有名气)
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6楼2013-01-09 12:56:31
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 云之骑士 at 2013-01-09 12:56:31
应力与薄膜的哪种基本生长模式相关...

这个跟生长模式应该没有太大关系。只要是在单晶片上外延单晶，应该都是类似的情况，只是超过临界厚度以后，产生缺陷的类型不同罢了。比如Si100一般是产生110的位错。
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奋斗。。。
7楼2013-01-10 10:50:41
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holy_han

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

楼上解答已经很清楚了。。。不知道还有什么疑问，可以追问
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8楼2013-03-21 16:01:53
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