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在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜
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aijiawo
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[交流]
在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜
金(Au)薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,我想问,不做过渡层,如何提高金(Au)薄膜对衬底的粘附性,做过这方面研究的虫子们给一下指点,先谢谢了~~
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2013-05-07 15:40:24
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引用回帖:
5楼
:
Originally posted by
aijiawo
at 2013-05-08 16:10:57
哦,我电子束蒸发和溅射都可以做,不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。...
可以的,一般的设备都有正反转电机用来控制溅射过程中的温度。你可以查查薄膜技术方面的资料,不同的方法影响附着力的因素不同,尤其是工艺参数上。
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6楼
2013-05-08 18:46:34
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哪位虫子可以指点一下,谢谢!
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2013-05-08 13:48:37
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2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试
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3楼
2013-05-08 14:19:47
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