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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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aijiawo

金虫 (小有名气)


[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜

金(Au)薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,我想问,不做过渡层,如何提高金(Au)薄膜对衬底的粘附性,做过这方面研究的虫子们给一下指点,先谢谢了~~
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aijiawo

金虫 (小有名气)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-05-08 14:19:47
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试

哦,我电子束蒸发和溅射都可以做,不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。
5楼2013-05-08 16:10:57
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aijiawo

金虫 (小有名气)


哪位虫子可以指点一下,谢谢!
2楼2013-05-08 13:48:37
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天之蓝心

木虫 (正式写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试
3楼2013-05-08 14:19:47
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甲子湖

金虫 (小有名气)


不懂,帮顶下
4楼2013-05-08 14:56:43
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