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在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜
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aijiawo
金虫
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帖子: 177
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虫号: 1368762
[交流]
在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜
金(Au)薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,我想问,不做过渡层,如何提高金(Au)薄膜对衬底的粘附性,做过这方面研究的虫子们给一下指点,先谢谢了~~
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1楼
2013-05-07 15:40:24
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文虫wen
新虫
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11楼
2014-04-24 16:20:29
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aijiawo
金虫
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哪位虫子可以指点一下,谢谢!
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2楼
2013-05-08 13:48:37
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天之蓝心
木虫
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aijiawo: 金币+1
2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试
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3楼
2013-05-08 14:19:47
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甲子湖
金虫
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4楼
2013-05-08 14:56:43
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