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aijiawo

金虫 (小有名气)

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[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜

金（Au）薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，我想问，不做过渡层，如何提高金（Au）薄膜对衬底的粘附性，做过这方面研究的虫子们给一下指点，先谢谢了~~

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1楼 2013-05-07 15:40:24

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Lydia_Lynn

新虫 (初入文坛)

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★
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Si和Ti的粘附性好，还是SiO2和Ti的粘附性好？？？

10楼2013-05-27 16:39:50

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aijiawo

金虫 (小有名气)

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哪位虫子可以指点一下，谢谢！

2楼2013-05-08 13:48:37

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天之蓝心

木虫 (正式写手)

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★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29

不知道你用的是什么方法，一般的溅射的话提高基底温度试试

3楼2013-05-08 14:19:47

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甲子湖

金虫 (小有名气)

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虫号: 2454110

不懂，帮顶下

4楼2013-05-08 14:56:43

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