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ZGmse

木虫 (小有名气)

[求助] 在Si衬底上得到SiO2薄膜

请问哪位虫友知道如何在Si衬底上沉积一层一定厚度的SiO2薄膜?(用磁控溅射或者E-beam,不晓得具体参数) 或者,有什么方法可以直接在Si片上长出SiO2薄膜来(能控制厚度的)?谢谢!!
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