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peigong177

新虫 (初入文坛)


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6楼: Originally posted by orchid8299 at 2010-11-23 15:01:10
我们都是用热氧化的方法。干氧的话,比较致密,但是时间很长,湿氧的话,就可能没那么致密,但时间短。
在石英管内,通氧气。

想在硅片上制备致密的氧化硅层,请问,具体的工艺参数可以告知吗?谢谢!
11楼2016-11-04 17:30:39
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r326464171

新虫 (初入文坛)


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10楼: Originally posted by zhaixl1985 at 2010-12-05 16:30:57
在氧气氛中退火也可以!

请问如何控制温度和时间呢?如果只想长30nm左右
12楼2018-08-20 13:54:14
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