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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法
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peigong177

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6楼: Originally posted by orchid8299 at 2010-11-23 15:01:10
我们都是用热氧化的方法。干氧的话，比较致密，但是时间很长，湿氧的话，就可能没那么致密，但时间短。
在石英管内，通氧气。

想在硅片上制备致密的氧化硅层,请问,具体的工艺参数可以告知吗?谢谢!
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11楼2016-11-04 17:30:39
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r326464171

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10楼: Originally posted by zhaixl1985 at 2010-12-05 16:30:57
在氧气氛中退火也可以！

请问如何控制温度和时间呢？如果只想长30nm左右
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12楼2018-08-20 13:54:14
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