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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

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[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法已有11人参与

我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？？？？

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O(∩_∩)O哈哈哈~

1楼 2010-11-06 19:46:18

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peigong177

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体材料

★
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引用回帖:

6楼: Originally posted by orchid8299 at 2010-11-23 15:01:10
我们都是用热氧化的方法。干氧的话，比较致密，但是时间很长，湿氧的话，就可能没那么致密，但时间短。
在石英管内，通氧气。

想在硅片上制备致密的氧化硅层,请问,具体的工艺参数可以告知吗?谢谢!

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11楼2016-11-04 17:30:39

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BK2008

木虫 (小有名气)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

引用回帖:

Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？ ...

HEAT+OXYGEN

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2楼2010-11-06 23:17:21

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