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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法
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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法 已有11人参与

我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？？？？
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O(∩_∩)O哈哈哈~
1楼 2010-11-06 19:46:18
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peigong177

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by orchid8299 at 2010-11-23 15:01:10
我们都是用热氧化的方法。干氧的话，比较致密，但是时间很长，湿氧的话，就可能没那么致密，但时间短。
在石英管内，通氧气。

想在硅片上制备致密的氧化硅层,请问,具体的工艺参数可以告知吗?谢谢!
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11楼2016-11-04 17:30:39
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BK2008

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？ ...

HEAT+OXYGEN
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2楼2010-11-06 23:17:21
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hao123czq8878

金虫 (正式写手)
空气中加热就行了！
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3楼2010-11-09 20:07:02
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zhuge456

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看看溶胶法行不行，我们这边都是用PECVD做的，溶胶法没有做过
赞一下(1人) 回复此楼
简单的生活，简单的人生，简单的梦想
4楼2010-11-09 20:27:19
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