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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法已有11人参与

我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????????
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O(∩_∩)O哈哈哈~
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peigong177

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by orchid8299 at 2010-11-23 15:01:10
我们都是用热氧化的方法。干氧的话,比较致密,但是时间很长,湿氧的话,就可能没那么致密,但时间短。
在石英管内,通氧气。

想在硅片上制备致密的氧化硅层,请问,具体的工艺参数可以告知吗?谢谢!
11楼2016-11-04 17:30:39
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BK2008

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????? ...

HEAT+OXYGEN
2楼2010-11-06 23:17:21
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hao123czq8878

金虫 (正式写手)

空气中加热就行了!
3楼2010-11-09 20:07:02
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zhuge456

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看看溶胶法行不行,我们这边都是用PECVD做的,溶胶法没有做过
简单的生活,简单的人生,简单的梦想
4楼2010-11-09 20:27:19
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