24小时热门版块排行榜    

查看: 3633  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法 已有11人参与

我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????????
回复此楼
O(∩_∩)O哈哈哈~
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

r326464171

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by zhaixl1985 at 2010-12-05 16:30:57
在氧气氛中退火也可以!

请问如何控制温度和时间呢?如果只想长30nm左右
12楼2018-08-20 13:54:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

BK2008

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????? ...

HEAT+OXYGEN
2楼2010-11-06 23:17:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hao123czq8878

金虫 (正式写手)

空气中加热就行了!
3楼2010-11-09 20:07:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuge456

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看看溶胶法行不行,我们这边都是用PECVD做的,溶胶法没有做过
简单的生活,简单的人生,简单的梦想
4楼2010-11-09 20:27:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见