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fjyxf

铁虫 (小有名气)

[交流] 石英 二氧化硅 SiO2 颗粒 靶材制备 已有1人参与

现在比较方便的二氧化硅颗粒(1-5mm)靶材的制备工艺有哪些?

[ Last edited by fjyxf on 2012-6-20 at 11:45 ]
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fjyxf

铁虫 (小有名气)

没人知道吗
很多云朵才能造就美丽的黄昏
2楼2012-06-30 17:06:12
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果是用于PLA,要用固相烧结工艺制备,约1200度,3h就可以了。
如果用于sputter,找块熔融制备的石英靶就可以了。
3楼2012-08-28 19:24:37
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