溶胶凝胶PZT多次旋涂薄膜质量变差
请问有做过溶胶凝胶PZT的吗？第一次旋涂薄膜质量很好，第二层旋涂后薄膜质量差很多，请问有什么解决方案吗？或者有其它加厚的手段吗？图片是两次旋涂后的。
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请求大神回复
你两次的工艺一样吗，具体去水几分，热解几分，结晶几分？还是每次工艺不一样？
，
每次工艺一样
那可能是配方出问题的可能性比较大，但不知道你的退火或热解温度是否合适
退火和热解是按照文献来的，先200℃挥发，400℃热解，600℃退火