主要是不导电

先喷金试试，应该是不导电

毫无疑问是因为样品不导电所致，在不影响形貌的情况下，你这种情况建议喷金或者喷铂处理再去做扫描。硅是半导体，二氧化硅不掺杂的情况下压根不导电。样品分散在导电胶上喷金处理即可。即使喷金可能还是有点，到时候记得拍照的时候，扫速快一点即可。