小白跪求解答，制备AlN，XRD测不出峰值？
求助求助，利用CVD法在si片制备AlN，Al源用的无水AlCl3粉末，N源采用氨气，调整温度时间气流量等参数，反应后片子上有点非常薄白色的一层，但是XRD 测不出任何峰值，也测试了反应后粉末未有结构，考虑过是没有反应，或者生成NH4Cl，但是粉末也没分析出产物，实在不知道求大神分析原因，不胜感激
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图谱发我一下看看，我也是做氮化铝的，用的方法不一样
一个是反应后粉末，有两个高峰，估计是粉末放置容器的，
另一个是反应后片子，jade查不出aln的峰值
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，
没有成膜，或者xrd检测方式不对，用小角度掠射法试试