测试一个用不同方法制备的30nm锗薄膜,用普通XRD测出来是一个鼓包,于是改用掠入射XRD测试,但是两种薄膜测试出来除了峰强不一样,半峰宽没什么区别,想问下掠入射XRD测试晶体质量与峰强有关吗? 返回小木虫查看更多
XRD测试,一个样品不是一次测的峰强就可能不同的。
《薄膜结构X射线表征 》可以看看
鼓包是怎样的?还有所谓的掠入射是2-theta,还是2-theta/w, 等等? 你是想看epitaxial? amorphos? 那个学校或研究院,希望多多交流,
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