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管式炉和CVD炉

作者 shuaiyi11
来源: 小木虫 550 11 举报帖子
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管式炉和CVD炉是一样的吗?
还是说CVD炉的石英管直径比较小,而管式炉的石英管直径比较大?
不过原理都是一样的吧!
没用过CVD炉,不是太懂,求解惑! 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 叶落花留影

    不一样,可以留个QQ什么的 我给你说说区别在哪

  • 蒋云

    差不多吧。就管式炉加一个石英管就可以做普通CVD了,那种热丝,减压CVD再加点装置就行了

  • 蒋云

    管径大小和炉膛有关,都是可以定制的

  • peterflyer

    两者互不统属。 比如作碳纳米管的CVD法制备,可用以纯石英为材质的玻璃管的管式炉。但一般的管式炉不一定以石英管为内衬,制备钼粉的管式还原炉就以不锈钢管为内衬。另外,CVD炉并非一定要是管式炉才行。

  • sxll

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-03 18:39:29
    两者互不统属。 比如作碳纳米管的CVD法制备,可用以纯石英为材质的玻璃管的管式炉。但一般的管式炉不一定以石英管为内衬,制备钼粉的管式还原炉就以不锈钢管为内衬。另外,CVD炉并非一定要是管式炉才行。
    ...

    管式炉主要是指用管式炉膛的高温炉,至于配什么管子,可以根据需要自行选择,同一台炉子,我用过刚玉、莫来石、石英、2520不锈钢。

  • shuaiyi11

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by peterflyer at 2015-11-03 18:39:29
    两者互不统属。 比如作碳纳米管的CVD法制备,可用以纯石英为材质的玻璃管的管式炉。但一般的管式炉不一定以石英管为内衬,制备钼粉的管式还原炉就以不锈钢管为内衬。另外,CVD炉并非一定要是管式炉才行。
    ...

    也就是说CVD炉的炉膛一般是以石英材质为主,主要考虑到炉膛的高温稳定性吧,如果马弗炉密封够好,是不是同样可以做CVD呢。
    CVD做碳材料,能满足将碳源气体裂解,并且炉膛的材质够稳定且不与反应物反应,这样岂不是就够了?
    谢谢

  • shuaiyi11

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by 蒋云 at 2015-11-03 14:00:39
    差不多吧。就管式炉加一个石英管就可以做普通CVD了,那种热丝,减压CVD再加点装置就行了

    请问热丝是什么意思?管式炉一般提供的就是电阻热吧,谢谢

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