实验室中常用的正性紫外光刻胶都有哪些？ 返回小木虫查看更多
紫外正型光刻胶有很多种，主要的有国外的shipley公司的AZ系列的，国内有北京科华的BP系列的，等等。最大分辨率普遍在1-5微米，根据胶膜的厚度和曝光方式等有所变化。
我们这边用的是EPG 516型正胶，主要还是要看你的用途，根据刻蚀等考虑胶厚，胶的抗腐蚀等等。
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京公网安备 11010802022153号
我们此前用的是BP212-37正性紫外光刻胶。也许是光刻胶已经过期或者显影液未经稀释的原因，这种光刻胶对紫外光非常敏感，我们不断的下调光强以及减少曝光时间，都无法得到完整的图形。倒霉的是我找不到任何产品说明书，而且生产BP212-37光刻胶的北京科华微公司对我们的询问邮件和电话一概不理不睬。
紫外正型光刻胶有很多种，主要的有国外的shipley公司的AZ系列的，国内有北京科华的BP系列的，等等。最大分辨率普遍在1-5微米，根据胶膜的厚度和曝光方式等有所变化。
1、你说的光刻胶对紫外光非常敏感具体表现在什么地方，不断下调光强减少曝光时间之后做出来的图形是什么样的？能否贴出来看下
2、赶紧换胶啊 这种商家的东西还用它干吗
212是很古老的光刻胶了。科华的售后不说也罢，瑞红的同样。
37是指粘度，估计成膜的厚度在3um左右。
你想要什么样的图形结果，分辨率啊，厚度啊；后续要什么工艺，腐蚀啊，刻蚀啊，lift off啊，这样才好给你推荐。
直接站内找“静静一yi”吧，换个胶试试
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我们这边用的是EPG 516型正胶，主要还是要看你的用途，根据刻蚀等考虑胶厚，胶的抗腐蚀等等。
楼主，你好，请问你那里有BP212-37光刻胶转速与厚度之间的参数吗？如果有的话能不能发给我一份，谢谢。