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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问北京哪里可以做光刻掩模板
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日月海岸

金虫 (小有名气)

[求助] 请问北京哪里可以做光刻掩模板 已有9人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！
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1楼 2015-06-30 10:11:35
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
您好！我司可以提供光罩，请将具体需求发至info@so-ease.net，或点击站内联系。
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9楼2015-07-01 12:17:25
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普通回帖

CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
日月海岸: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-06-30 13:50:28
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2015-06-30 10:32:51
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是要做微流控方面的研究吗？我司最近要引进一套PDMS芯片加工设备，暂时还未到货，无法帮助您，不过可以交流下微流控方面。
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3楼2015-06-30 10:33:28
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日月海岸

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 10:32:51
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~

谢谢！请问大概价格知道吗？
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4楼2015-06-30 13:50:59
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 日月海岸 at 2015-06-30 13:50:59
谢谢！请问大概价格知道吗？...

做的太早忘记了，当初组里在那里存了1w块，用了好久都没用完。只做光刻、自备掩膜板的话应该很便宜，可以直接跟里边的操作员确认，不过似乎要预付费...
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卢瑟·西门罗夫同志
5楼2015-06-30 16:23:58
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 16:23:58
做的太早忘记了，当初组里在那里存了1w块，用了好久都没用完。只做光刻、自备掩膜板的话应该很便宜，可以直接跟里边的操作员确认，不过似乎要预付费......

亲他们是要做掩膜板，，，不是光刻！ 、北京的掩膜板制备我知道的中科院微电子所 我们经常在那做
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6楼2015-06-30 19:51:11
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
南京55所可以加工光刻掩膜板

[ 发自小木虫客户端 ]
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7楼2015-06-30 20:19:17
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xxiaotian

木虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
健德门附近的中科院微电子所可以的
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积极工作！！！
8楼2015-06-30 22:00:43
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
日月海岸: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-07-03 11:31:56
北京机械工业自动化研究所可以做，刚在那里做完，四寸版是一块1200，版越大越贵，只需联系那边老师，把版图发给他，留下电话地址，做完以后那边老师会顺丰快递给你，3-5天即可做好，我最近做的4块版，三天搞定的。如果需要联系方式，留言给我我再告诉你吧~
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10楼2015-07-03 11:13:54
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