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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问北京哪里可以做光刻掩模板
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日月海岸

金虫 (小有名气)

[求助] 请问北京哪里可以做光刻掩模板已有9人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！
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1楼2015-06-30 10:11:35
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 16:23:58
做的太早忘记了，当初组里在那里存了1w块，用了好久都没用完。只做光刻、自备掩膜板的话应该很便宜，可以直接跟里边的操作员确认，不过似乎要预付费......

亲他们是要做掩膜板，，，不是光刻！ 、北京的掩膜板制备我知道的中科院微电子所 我们经常在那做
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6楼2015-06-30 19:51:11
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
日月海岸: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-06-30 13:50:28
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2015-06-30 10:32:51
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是要做微流控方面的研究吗？我司最近要引进一套PDMS芯片加工设备，暂时还未到货，无法帮助您，不过可以交流下微流控方面。
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3楼2015-06-30 10:33:28
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日月海岸

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 10:32:51
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~

谢谢！请问大概价格知道吗？
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4楼2015-06-30 13:50:59
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