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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问北京哪里可以做光刻掩模板
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日月海岸

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2015-07-03 11:13:54
北京机械工业自动化研究所可以做，刚在那里做完，四寸版是一块1200，版越大越贵，只需联系那边老师，把版图发给他，留下电话地址，做完以后那边老师会顺丰快递给你，3-5天即可做好，我最近做的4块版，三天搞定的。如 ...

太感谢了！能麻烦你把联系方式给我一下吗，感激不尽！！！
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11楼2015-07-03 11:31:38
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王爷网页

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

中科院半导体研究所集成中心似乎可以做，而且比清华那边应该要便宜些

[ 发自小木虫客户端 ]
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行到水穷处，坐看云起时
12楼2015-07-03 12:30:45
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索益半导体

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by xiaohuamao1 at 2015-07-03 11:13:54
北京机械工业自动化研究所可以做，刚在那里做完，四寸版是一块1200，版越大越贵，只需联系那边老师，把版图发给他，留下电话地址，做完以后那边老师会顺丰快递给你，3-5天即可做好，我最近做的4块版，三天搞定的。如 ...

确认是Aligner做1微米？不是Stepper做10微米缩到1微米？
我们公司自己做的话最小能做到2微米，0.2微米的精度，1微米线如果一次性没刻开的话修复机修不了那么细的线宽
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13楼2015-07-03 16:30:44
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by 日月海岸 at 2015-07-03 11:31:38
太感谢了！能麻烦你把联系方式给我一下吗，感激不尽！！！...

老师叫修善友，电话是82285449，邮箱是xiushy@riamb.ac.cn
你需要先给他打电话，然后再把版图发给他，写个版图说明，版图的最小尺寸和需要制作的版的尺寸，并且每一块板对应的名字，让老师分清楚哪个是你第一块板哪个是第二块
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14楼2015-07-06 11:04:28
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 日月海岸 at 2015-07-03 11:31:38
太感谢了！能麻烦你把联系方式给我一下吗，感激不尽！！！...

你可以先联系一下老师说一下你的要求，然后你就都和老师说吧~
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15楼2015-07-06 11:05:47
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yx343969432

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

重庆绿色智能研究所可以做，最大的优势是价格便宜。有需求可以联系我一下
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16楼2015-07-10 11:41:56
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树枝上的红薯

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 10:32:51
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~

您好，我们最近需要找能做光刻胶的地方。您那里还有清华纳米中心的联系方式吗？
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很高兴认识你。
17楼2018-07-17 14:29:28
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 树枝上的红薯 at 2018-07-17 14:29:28
您好，我们最近需要找能做光刻胶的地方。您那里还有清华纳米中心的联系方式吗？...

6-7年前做的了，目前没有联系方式了。
清华富士康纳米中心，可以直接搜一下看看~~
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卢瑟·西门罗夫同志
18楼2018-07-18 09:03:37
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KJ_Y1008

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by babyoflion at 2015-06-30 19:51:11
亲他们是要做掩膜板，，，不是光刻！ 、北京的掩膜板制备我知道的中科院微电子所 我们经常在那做...

您好，请问有中科院微电子所的联系方式吗，我需要制版
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19楼2019-04-15 15:37:59
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 树枝上的红薯 at 2018-07-17 14:29:28
您好，我们最近需要找能做光刻胶的地方。您那里还有清华纳米中心的联系方式吗？...

做光刻胶？还是光刻工艺？
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20楼2019-04-15 17:36:32
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