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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问北京哪里可以做光刻掩模板
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日月海岸

金虫 (小有名气)

[求助] 请问北京哪里可以做光刻掩模板已有9人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板，最小精度为1um左右，请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做，感激不尽！
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1楼2015-06-30 10:11:35
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xiaohuamao1

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
日月海岸: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-07-03 11:31:56
北京机械工业自动化研究所可以做，刚在那里做完，四寸版是一块1200，版越大越贵，只需联系那边老师，把版图发给他，留下电话地址，做完以后那边老师会顺丰快递给你，3-5天即可做好，我最近做的4块版，三天搞定的。如果需要联系方式，留言给我我再告诉你吧~
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10楼2015-07-03 11:13:54
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
日月海岸: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-06-30 13:50:28
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2015-06-30 10:32:51
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是要做微流控方面的研究吗？我司最近要引进一套PDMS芯片加工设备，暂时还未到货，无法帮助您，不过可以交流下微流控方面。
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3楼2015-06-30 10:33:28
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日月海岸

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 10:32:51
清华纳米中心，似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~

谢谢！请问大概价格知道吗？
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4楼2015-06-30 13:50:59
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