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日月海岸

金虫 (小有名气)

[求助] 请问北京哪里可以做光刻掩模板 已有9人参与

本人想用掩膜进行光刻制作模板,最小精度为1um左右,请问各位虫友有谁知道哪个公司或者科研单位可以做,感激不尽!
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你是要做微流控方面的研究吗?我司最近要引进一套PDMS芯片加工设备,暂时还未到货,无法帮助您,不过可以交流下微流控方面。
3楼2015-06-30 10:33:28
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
日月海岸: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-06-30 13:50:28
清华纳米中心,似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~
卢瑟·西门罗夫同志
2楼2015-06-30 10:32:51
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日月海岸

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by CruiserD at 2015-06-30 10:32:51
清华纳米中心,似乎全称是清华富士康纳米中心。可以做光刻、涂胶、刻蚀、沉积等等~~
以前经常去~~

谢谢!请问大概价格知道吗?
4楼2015-06-30 13:50:59
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 日月海岸 at 2015-06-30 13:50:59
谢谢!请问大概价格知道吗?...

做的太早忘记了,当初组里在那里存了1w块,用了好久都没用完。只做光刻、自备掩膜板的话应该很便宜,可以直接跟里边的操作员确认,不过似乎要预付费...
卢瑟·西门罗夫同志
5楼2015-06-30 16:23:58
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