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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频溅射薄膜参数对于薄膜的影响
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小海孩

银虫 (小有名气)

[求助] 射频溅射薄膜参数对于薄膜的影响 已有3人参与

请问下有没有系统的关于射频溅射参数对于薄膜结构及性能的影响，比如射频溅射功率影响薄膜的溅射速率、表面形貌，溅射气压影响薄膜的。。。。靶材基底距离影响薄膜的。。。。等等，急求，非常感谢！！！
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科研
1楼 2015-05-06 16:10:52
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
恩貌似楼主可以写一篇综述文章

[ 发自小木虫客户端 ]
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6楼2015-05-08 18:17:42
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这种文章一大堆啊 ，我现在毕业了，手头没有文献，不然给你几篇
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用绳命来搞科研
3楼2015-05-07 13:42:07
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小海孩

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-05-07 13:42:07
这种文章一大堆啊 ，我现在毕业了，手头没有文献，不然给你几篇

文献是有的，但是没有系统总结的，感觉比较散乱，而且有的文献感觉一致性不是很协调
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科研
5楼2015-05-08 09:30:29
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老鼠爱红豆

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先看看书，再看文献效果会好一点，本人用直流磁控
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7楼2015-05-09 13:15:45
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