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小海孩

银虫 (小有名气)

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[求助] 射频溅射薄膜参数对于薄膜的影响已有3人参与

请问下有没有系统的关于射频溅射参数对于薄膜结构及性能的影响，比如射频溅射功率影响薄膜的溅射速率、表面形貌，溅射气压影响薄膜的。。。。靶材基底距离影响薄膜的。。。。等等，急求，非常感谢！！！

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科研

1楼 2015-05-06 16:10:52

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ykelikelie

4楼2015-05-07 16:53:56

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小海孩

[求助] 射频溅射薄膜参数对于薄膜的影响 已有3人参与

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