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磁控溅射靶材的加工问题
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tsl562755652
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专业: 金属功能材料
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磁控溅射靶材的加工问题
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最近实验室要自己做一个合金的靶材,请问靶材的表面光洁度一般要达到多少呢?
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1楼
2015-04-15 15:53:46
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Smallpeng
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专业: 金属功能材料
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tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2
2015-07-14 14:58:54
什么靶材?做什么膜,要求不同啊,不过起码也要打磨干净,再根据情况洗靶
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勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
2楼
2015-04-15 20:31:10
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冯123266171
新虫
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3楼
2015-04-15 23:05:32
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huihui2eat
银虫
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专业: 等离子体物理
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tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2
2015-07-14 14:59:01
具体是什么靶材呢?一般靶材主要关注纯度和致密度,合金靶材如果致密度不好的话,在溅射的过程中会容易出现膨胀或者其他情况,所以在选择商家的时候一定要注意这几个参数
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4楼
2015-04-16 14:29:57
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peterflyer
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peterflyer
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专业: 功能陶瓷
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tsl562755652(ivansdk代发): 金币+3
2015-07-14 14:59:11
这还要看具体的材料。如硬的材料如钼合金,要好于0.4微米;软的材料如铝合金则要好于1.6微米就行了。
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5楼
2015-04-17 08:05:45
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roaminglukas
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专业: 金属功能材料
【答案】应助回帖
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tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2
2015-07-14 14:59:18
靶材的表面finish没有任何的影响,但是靶材的纯度非常的重要
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6楼
2015-04-17 08:42:13
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pvdmaterial
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专业: 凝聚态物性 II :电子结构
不同的靶材表面光洁度要求不一样,可以根据情况而定
金属一般表面都比较光洁,3.2化左右
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7楼
2019-10-15 18:00:27
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