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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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tsl562755652

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材的加工问题 已有4人参与

最近实验室要自己做一个合金的靶材,请问靶材的表面光洁度一般要达到多少呢?
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冯123266171

新虫 (初入文坛)

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3楼2015-04-15 23:05:32
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2 2015-07-14 14:58:54
什么靶材?做什么膜,要求不同啊,不过起码也要打磨干净,再根据情况洗靶
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
2楼2015-04-15 20:31:10
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2 2015-07-14 14:59:01
具体是什么靶材呢?一般靶材主要关注纯度和致密度,合金靶材如果致密度不好的话,在溅射的过程中会容易出现膨胀或者其他情况,所以在选择商家的时候一定要注意这几个参数
4楼2015-04-16 14:29:57
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
tsl562755652(ivansdk代发): 金币+3 2015-07-14 14:59:11
这还要看具体的材料。如硬的材料如钼合金,要好于0.4微米;软的材料如铝合金则要好于1.6微米就行了。
5楼2015-04-17 08:05:45
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