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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射靶材的加工问题
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tsl562755652

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材的加工问题 已有4人参与

最近实验室要自己做一个合金的靶材，请问靶材的表面光洁度一般要达到多少呢？
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1楼 2015-04-15 15:53:46
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
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tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2 2015-07-14 14:59:01
具体是什么靶材呢？一般靶材主要关注纯度和致密度，合金靶材如果致密度不好的话，在溅射的过程中会容易出现膨胀或者其他情况，所以在选择商家的时候一定要注意这几个参数
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4楼2015-04-16 14:29:57
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tsl562755652(ivansdk代发): 金币+2 2015-07-14 14:58:54
什么靶材？做什么膜，要求不同啊，不过起码也要打磨干净，再根据情况洗靶
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
2楼2015-04-15 20:31:10
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冯123266171

新虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
3楼2015-04-15 23:05:32
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tsl562755652(ivansdk代发): 金币+3 2015-07-14 14:59:11
这还要看具体的材料。如硬的材料如钼合金，要好于0.4微米；软的材料如铝合金则要好于1.6微米就行了。
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5楼2015-04-17 08:05:45
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