应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 学术帮助 » 磁控溅射哪些原因会导致实验中途无规律灭弧？
21/1返回列表
查看: 1581  |  回复: 1
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看

达达1990

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射哪些原因会导致实验中途无规律灭弧？

本人采用中频磁控溅射平面靶（加偏压）镀TiN薄膜，实验中途灭弧现象，说通俗点就是实验过程中突然辉光熄灭了。这种灭弧并无规律，一天5-6小时实验会出现一次灭弧。另外实验发现点靶时不容易起辉，需加大Ar气流量才能起辉。实验做出的膜层偶尔会出现掉膜现象。求大侠帮忙，急！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-03-11 19:48:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
达达1990: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助, 谢谢提供思路，靶材短路我们系统会报警。 2015-03-12 14:12:32
可能靶材没装好，拆了重新装。另外防止靶材短路。电压电流要稳定

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-03-12 13:22:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 达达1990 的主题更新
21/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-18 09:18 by yS4CkeWDhD6V
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-18 09:18 by yS4CkeWDhD6V
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-18 08:54 by yS4CkeWDhD6V
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 5BDX0d0WFp7t 2026-09-15 4/200 2026-09-18 03:18 by cITaGg3p5edr
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-18 00:28 by cITaGg3p5edr
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-17 22:39 by cuPZTDXS3VOd
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 5BDX0d0WFp7t 2026-09-15 4/200 2026-09-17 16:29 by 0ngsZVSCTS7z
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 6/300 2026-09-17 14:17 by ObVzqQQh1rrE
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-17 13:17 by ObVzqQQh1rrE
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-17 13:15 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +8 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 8/400 2026-09-17 11:27 by UAIjTRMuUFoj
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-17 05:16 by k06BKNblrGRH
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-17 02:38 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:26 by Tql5LQhh5rLK
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告 +7 水士口 2026-09-16 8/400 2026-09-16 13:47 by kkklens
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-16 03:14 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:59 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[考博] 27秋季材料博士申请求助 10+3 Cahal1 2026-09-11 4/200 2026-09-14 08:50 by 北京莱茵编辑
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭