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达达1990

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射哪些原因会导致实验中途无规律灭弧？

本人采用中频磁控溅射平面靶（加偏压）镀TiN薄膜，实验中途灭弧现象，说通俗点就是实验过程中突然辉光熄灭了。这种灭弧并无规律，一天5-6小时实验会出现一次灭弧。另外实验发现点靶时不容易起辉，需加大Ar气流量才能起辉。实验做出的膜层偶尔会出现掉膜现象。求大侠帮忙，急！！！

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1楼 2015-03-11 19:48:01

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perry_ping

新虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
达达1990: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助, 谢谢提供思路，靶材短路我们系统会报警。 2015-03-12 14:12:32

可能靶材没装好，拆了重新装。另外防止靶材短路。电压电流要稳定

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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2楼2015-03-12 13:22:02

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