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达达1990

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射哪些原因会导致实验中途无规律灭弧?

本人采用中频磁控溅射平面靶(加偏压)镀TiN薄膜,实验中途灭弧现象,说通俗点就是实验过程中突然辉光熄灭了。这种灭弧并无规律,一天5-6小时实验会出现一次灭弧。另外实验发现点靶时不容易起辉,需加大Ar气流量才能起辉。实验做出的膜层偶尔会出现掉膜现象。求大侠帮忙,急!!!
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perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
达达1990: 金币+5, 博学EPI+1, 有帮助, 谢谢提供思路,靶材短路我们系统会报警。 2015-03-12 14:12:32
可能靶材没装好,拆了重新装。另外防止靶材短路。电压电流要稳定

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2015-03-12 13:22:02
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