24小时热门版块排行榜

返回列表

本帖产生 1 个博学EPI ，点击这里进行查看

达达1990

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 976.9
帖子: 37
在线: 31小时
虫号: 1869916
注册: 2012-06-26
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射哪些原因会导致实验中途无规律灭弧？

本人采用中频磁控溅射平面靶（加偏压）镀TiN薄膜，实验中途灭弧现象，说通俗点就是实验过程中突然辉光熄灭了。这种灭弧并无规律，一天5-6小时实验会出现一次灭弧。另外实验发现点靶时不容易起辉，需加大Ar气流量才能起辉。实验做出的膜层偶尔会出现掉膜现象。求大侠帮忙，急！！！

回复此楼

» 猜你喜欢

拟解决的关键科学问题还要不要写已经有8人回复
26申博已经有3人回复
存款400万可以在学校里躺平吗已经有22人回复
最失望的一年已经有4人回复
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？已经有19人回复
请教限项目规定已经有3人回复
基金委咋了？2026年的指南还没有出来？已经有10人回复
基金申报已经有6人回复
推荐一本书已经有13人回复
疑惑？已经有5人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

关于磁控溅射SiO2薄膜的绝缘性问题已经有12人回复
求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题已经有16人回复
直流磁控溅射制备DLC，靶功率源的电压一直飙升，请问大神们是什么原因？已经有4人回复
磁控溅射只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？已经有18人回复
高功率脉冲磁控溅射，求大神指导已经有33人回复
磁控溅射TiN的颜色问题已经有8人回复
关于磁控溅射镀膜设备的问题已经有4人回复
请教一个关于磁控溅射的问题在靶材上贴片已经有16人回复
磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗已经有4人回复
在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题已经有5人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？已经有7人回复
Sputter磁控溅射的设置单位问题已经有9人回复
实验室的磁控溅射和XRD在非工作状态下对人体有害吗？已经有6人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
直流磁控溅射溅射无法起弧靶材刻蚀严重已经有13人回复
求助关于磁控溅射的问题已经有29人回复
磁控溅射电源的电流调不上去是怎么回事？已经有6人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
【求助】关于磁控溅射SiO2的问题已经有14人回复
【求助】磁控溅射时的基板问题已经有4人回复

1楼 2015-03-11 19:48:01

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (著名写手)

博学EPI: 1
应助: 8 (幼儿园)
金币: 16977.7
散金: 100
红花: 1
帖子: 2968
在线: 159.3小时
虫号: 3620446
注册: 2014-12-30
专业: 无机合成和制备化学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
达达1990: 金币+5, 博学EPI+1, ★有帮助, 谢谢提供思路，靶材短路我们系统会报警。 2015-03-12 14:12:32

可能靶材没装好，拆了重新装。另外防止靶材短路。电压电流要稳定

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

赞一下

回复此楼

2楼2015-03-12 13:22:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主达达1990 的主题更新

返回列表