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gaoxh121木虫 (正式写手)
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如何用磁控溅射技术制备高红外反射率的钨薄膜和钼薄膜?
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最近做磁控实验,在不锈钢表面制备单层钨或者单层钼,看了很多文献,利用直流溅射制备了高红外反射率的单层钨或者钼薄膜!但自己用直流溅射制备时,得到的单层钨或者钼 的红外反射谱图与文献报道有很大区别!实验参数如功率,溅射时间都做了调整,始终没得到高红外反射率的单层钨或者钼薄膜?不知道哪里出问题了,请前辈们指点,谢谢! |
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