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gaoxh121

木虫 (正式写手)

[求助] 如何用磁控溅射技术制备高红外反射率的钨薄膜和钼薄膜?

最近做磁控实验,在不锈钢表面制备单层钨或者单层钼,看了很多文献,利用直流溅射制备了高红外反射率的单层钨或者钼薄膜!但自己用直流溅射制备时,得到的单层钨或者钼
的红外反射谱图与文献报道有很大区别!实验参数如功率,溅射时间都做了调整,始终没得到高红外反射率的单层钨或者钼薄膜?不知道哪里出问题了,请前辈们指点,谢谢!
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soul汽水

新虫 (小有名气)

你直流的溅射功率是多少?我最近也要镀W,也在探索当中
2楼2015-03-24 22:39:02
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