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【求助】用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜?
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lilies897
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【求助】用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜?
用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜?
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):给个红包,谢谢回帖
zhangquan8385(金币+1): 鼓励新虫 2011-09-27 11:36:33
一般直接用纯硅的靶材溅射出来的就是非晶态的硅。你可以看下相关文献,有些参数。
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2011-09-27 09:44:04
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