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lilies897

铜虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜？

用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜？

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1楼 2011-02-14 10:19:47

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jessica8869

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zhangquan8385(金币+1): 鼓励新虫 2011-09-27 11:36:33

一般直接用纯硅的靶材溅射出来的就是非晶态的硅。你可以看下相关文献，有些参数。

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3楼2011-09-27 09:44:04

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果果521310

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4楼2015-01-31 19:42:30

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lilies8972楼

2011-02-15 14:05 回复

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