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lilies897

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[交流] 【求助】用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜?

用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜?
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jessica8869

新虫 (初入文坛)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhangquan8385(金币+1): 鼓励新虫 2011-09-27 11:36:33
一般直接用纯硅的靶材溅射出来的就是非晶态的硅。你可以看下相关文献,有些参数。
3楼2011-09-27 09:44:04
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果果521310

新虫 (初入文坛)


4楼2015-01-31 19:42:30
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lilies8972楼
2011-02-15 14:05   回复  
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