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lilies897

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜？

用磁控溅射如何溅射非晶硅薄膜？
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1楼 2011-02-14 10:19:47
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jessica8869

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
zhangquan8385(金币+1): 鼓励新虫 2011-09-27 11:36:33
一般直接用纯硅的靶材溅射出来的就是非晶态的硅。你可以看下相关文献，有些参数。
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3楼2011-09-27 09:44:04
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