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william_fly

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体材料

[求助] 怎样去掉溅射好的氧化铝薄膜已有2人参与

如题，溅射了一层氧化铝薄膜，但是想去掉，不知道有什么办法不，谢谢大家！！！！

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1楼2015-01-15 23:31:47

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

可能有两种方法可以解决这个问题，一种是加热浓硫酸和浓硝酸的混酸进行清洗浸泡，一种是用等离子束进行刻蚀。

2楼2015-01-16 11:36:16

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