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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。 已有11人参与

RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上长了一层10nm 左右的SiO2薄膜，打算用AFM测厚度，那我该怎么制样。用针划？这样会不会把基底划破，或者Sio2薄膜能划破吗？或者利用光刻的方法制作边缘？

没做过AFM，所以完全不懂，求指教。非常感谢
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1楼 2014-12-30 11:24:12
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向合电子材料

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
supernatural: 金币-5, 屏蔽内容, 违规存档, 不允许打广告！ 2014-12-30 14:29:44
本帖内容被屏蔽
2楼2014-12-30 12:27:23
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用HF腐蚀出一个台阶出来。
最好是光刻以后再腐蚀，因为AFM的扫描面积很小。
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3楼2014-12-30 17:08:45
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
确实AFM的扫描面积很小，用来测量厚度确实有点不太方便，其实，你只是单纯的测量厚度的话，有很多不同仪器、不同的方法进行测试，而且测量比较快，操作简单，都能够测量纳米级别的厚度。
比如薄膜测厚仪运用光学的测量方法，同时可以获得薄膜的反射光谱、透射光谱等光学参数；
再比如面阻测试仪运用电学的测量方法，同时可以获得材料的电阻值。
你可以考虑下。。。
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4楼2014-12-30 17:20:12
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nancy10214

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果腐蚀，ALD长的氧化铝很快的，BOE也可以腐蚀，不过高温退火后的氧化铝就不能被腐蚀了，所以腐蚀要在退火前进行！
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5楼2014-12-31 09:53:30
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落地阳光

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
个人感还是用台阶仪比较好。。

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6楼2014-12-31 10:27:18
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zzyzxup

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
针划的话，面积过大，AFM扫描面积很小。建议用光刻，腐蚀的方法。

[ 发自小木虫客户端 ]
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努力才有未来。
7楼2014-12-31 10:30:40
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zzyzxup at 2014-12-31 10:30:40
针划的话，面积过大，AFM扫描面积很小。建议用光刻，腐蚀的方法。

谢谢，用针划后，我们应该只要找到有膜和无膜的边界处就行了吧，这个边界不是很大吧？你们说的针划的面积过大是指什么？
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8楼2014-12-31 17:07:49
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没有台阶起伏AFM就侧不了，建议椭偏仪
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9楼2014-12-31 17:45:12
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glorylin

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by boyshen at 2014-12-31 17:45:12
没有台阶起伏AFM就侧不了，建议椭偏仪

是啊，就是没台阶起伏，所以要人为造出台阶（就是一边又膜，一边没膜）。AFM制样应该很成熟了吧。不是说有用针划之类的吗？或者我用光刻人为制作一个膜边缘。这样可以吗？
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10楼2014-12-31 18:07:49
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