应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。
51/1返回列表
查看: 2880  |  回复: 22
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。 已有11人参与

RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上长了一层10nm 左右的SiO2薄膜，打算用AFM测厚度，那我该怎么制样。用针划？这样会不会把基底划破，或者Sio2薄膜能划破吗？或者利用光刻的方法制作边缘？

没做过AFM，所以完全不懂，求指教。非常感谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 11:24:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
确实AFM的扫描面积很小，用来测量厚度确实有点不太方便，其实，你只是单纯的测量厚度的话，有很多不同仪器、不同的方法进行测试，而且测量比较快，操作简单，都能够测量纳米级别的厚度。
比如薄膜测厚仪运用光学的测量方法，同时可以获得薄膜的反射光谱、透射光谱等光学参数；
再比如面阻测试仪运用电学的测量方法，同时可以获得材料的电阻值。
你可以考虑下。。。
赞一下 回复此楼
4楼2014-12-30 17:20:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 23 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用HF腐蚀出一个台阶出来。
最好是光刻以后再腐蚀，因为AFM的扫描面积很小。
赞一下 回复此楼
3楼2014-12-30 17:08:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nancy10214

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果腐蚀，ALD长的氧化铝很快的，BOE也可以腐蚀，不过高温退火后的氧化铝就不能被腐蚀了，所以腐蚀要在退火前进行！
赞一下 回复此楼
5楼2014-12-31 09:53:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落地阳光

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
个人感还是用台阶仪比较好。。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
6楼2014-12-31 10:27:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 23 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭