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justwwt

新虫 (初入文坛)

[求助] sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办 已有1人参与

薄膜上镀了一层二氧化硅,想看看表面形貌,喷PT后(大概0.8nm),在钨丝SEM下怎么调都看不清,请问制样有什么问题,或者是钨丝电镜的分辨率不够,要换场发射电镜。有过此经历的大侠们告诉小弟啊
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
需要场发射电镜。
有不需要喷PT之间可以做电镜的场发射电镜做。
2楼2013-01-29 23:31:38
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的膜表面很平吧,比较平淡表面SEM里面是没有对比度的,所以看纵切面更容易一点,另外,你的电镜是不是场发射的,不是场发射的话,把束斑尺寸调小点,加速电压调小点
精益求精,不断进取
3楼2013-01-30 08:06:27
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zizikiller

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是bare wafer的话,很难聚焦。最好要cross section.
问题是你研究的重点是什么。为什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答
4楼2013-01-30 10:08:01
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先在薄膜上找一个小杂质颗粒聚焦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2013-01-30 11:07:55
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justwwt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2013-01-29 23:31:38
需要场发射电镜。
有不需要喷PT之间可以做电镜的场发射电镜做。

薄膜很平整,场发射的电镜不知道能都成功,谢谢您
6楼2013-01-30 13:06:37
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justwwt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by hfutjzy at 2013-01-30 08:06:27
你的膜表面很平吧,比较平淡表面SEM里面是没有对比度的,所以看纵切面更容易一点,另外,你的电镜是不是场发射的,不是场发射的话,把束斑尺寸调小点,加速电压调小点

基地是薄膜,上面镀的二氧化硅,表面是很整,纵切面也看了,也是看不清。这个是不是场发射的电镜有关系吗?
7楼2013-01-30 13:09:47
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justwwt

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zizikiller at 2013-01-30 10:08:01
如果是bare wafer的话,很难聚焦。最好要cross section.
问题是你研究的重点是什么。为什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答

基地是薄膜,上面镀的二氧化硅,做的是附着力测试,想看一下不同参数条件下二氧化硅的表面形貌。用钨丝电镜看不到,就是一层,看不到颗粒,调了好久了,总是调不好。
8楼2013-01-30 13:12:26
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
yanhualover: 金币+1, 谢谢您的详细解析,期待更精彩。 2013-01-31 20:45:59
引用回帖:
7楼: Originally posted by justwwt at 2013-01-30 13:09:47
基地是薄膜,上面镀的二氧化硅,表面是很整,纵切面也看了,也是看不清。这个是不是场发射的电镜有关系吗?...

平整的表面电镜是看不清的,什么电镜都不行,因为没有衬度,如果表面很平整你又想看表面形貌的话我建议你试试原子力显微镜AFM。
你的切面没有道理看不到的啊,你确定你的切面切得够好么,这样的薄膜,看切面制样要花一定功夫的。如果还有条件,去TEM上看看,可以看到切面的。
精益求精,不断进取
9楼2013-01-30 14:20:15
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眼镜片1

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

要是放大倍数要求不大的话,建议采用环境扫描电镜,那个在20000倍以下,成像效果挺好的。
我的是喷金以后,用场发射电镜,效果也挺好的啊  
你是不是用手不小心抹掉了,二氧化硅薄膜很脆弱的
10楼2013-02-08 23:24:57
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