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runlanzhan

银虫 (小有名气)

[求助] 请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序

如题,做这些测试会不会对薄膜表面有影响,需要考虑测试的先后问题吗?
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

runlanzhan(金币+5, 博学EPI+1): 谢谢,不好意思现在才评分。 2011-09-13 08:35:23
如果薄膜导电,不需要喷金等,可以先测AFM,再测SEM,最后测XRD
否则先测AFM,再测XRD,最后测SEM
AFM和XRD是无损检测,但AFM怕样品弄脏,所以一般先测。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-05-03 11:51:27
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runlanzhan

银虫 (小有名气)

送鲜花一朵
谢谢。
3楼2011-06-09 16:56:13
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