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justwwt

新虫 (初入文坛)

[求助] sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办 已有1人参与

薄膜上镀了一层二氧化硅,想看看表面形貌,喷PT后(大概0.8nm),在钨丝SEM下怎么调都看不清,请问制样有什么问题,或者是钨丝电镜的分辨率不够,要换场发射电镜。有过此经历的大侠们告诉小弟啊
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你的膜表面很平吧,比较平淡表面SEM里面是没有对比度的,所以看纵切面更容易一点,另外,你的电镜是不是场发射的,不是场发射的话,把束斑尺寸调小点,加速电压调小点
精益求精,不断进取
3楼2013-01-30 08:06:27
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
需要场发射电镜。
有不需要喷PT之间可以做电镜的场发射电镜做。
2楼2013-01-29 23:31:38
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zizikiller

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是bare wafer的话,很难聚焦。最好要cross section.
问题是你研究的重点是什么。为什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答
4楼2013-01-30 10:08:01
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
先在薄膜上找一个小杂质颗粒聚焦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2013-01-30 11:07:55
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