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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办
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justwwt

新虫 (初入文坛)

[求助] sem看二氧化硅薄膜看不到怎么办 已有1人参与

薄膜上镀了一层二氧化硅，想看看表面形貌，喷PT后（大概0.8nm），在钨丝SEM下怎么调都看不清，请问制样有什么问题，或者是钨丝电镜的分辨率不够，要换场发射电镜。有过此经历的大侠们告诉小弟啊
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1楼 2013-01-29 22:07:19
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
需要场发射电镜。
有不需要喷PT之间可以做电镜的场发射电镜做。
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2楼2013-01-29 23:31:38
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你的膜表面很平吧，比较平淡表面SEM里面是没有对比度的，所以看纵切面更容易一点，另外，你的电镜是不是场发射的，不是场发射的话，把束斑尺寸调小点，加速电压调小点
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精益求精，不断进取
3楼2013-01-30 08:06:27
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zizikiller

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果是bare wafer的话，很难聚焦。最好要cross section.
问题是你研究的重点是什么。为什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答
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4楼2013-01-30 10:08:01
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raymondzsu

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
先在薄膜上找一个小杂质颗粒聚焦。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2013-01-30 11:07:55
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justwwt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2013-01-29 23:31:38
需要场发射电镜。
有不需要喷PT之间可以做电镜的场发射电镜做。

薄膜很平整，场发射的电镜不知道能都成功，谢谢您
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6楼2013-01-30 13:06:37
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justwwt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hfutjzy at 2013-01-30 08:06:27
你的膜表面很平吧，比较平淡表面SEM里面是没有对比度的，所以看纵切面更容易一点，另外，你的电镜是不是场发射的，不是场发射的话，把束斑尺寸调小点，加速电压调小点

基地是薄膜，上面镀的二氧化硅，表面是很整，纵切面也看了，也是看不清。这个是不是场发射的电镜有关系吗？
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7楼2013-01-30 13:09:47
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justwwt

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by zizikiller at 2013-01-30 10:08:01
如果是bare wafer的话，很难聚焦。最好要cross section.
问题是你研究的重点是什么。为什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答

基地是薄膜，上面镀的二氧化硅，做的是附着力测试，想看一下不同参数条件下二氧化硅的表面形貌。用钨丝电镜看不到，就是一层，看不到颗粒，调了好久了，总是调不好。
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8楼2013-01-30 13:12:26
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hfutjzy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
yanhualover: 金币+1, 谢谢您的详细解析，期待更精彩。 2013-01-31 20:45:59
引用回帖:
7楼: Originally posted by justwwt at 2013-01-30 13:09:47
基地是薄膜，上面镀的二氧化硅，表面是很整，纵切面也看了，也是看不清。这个是不是场发射的电镜有关系吗？...

平整的表面电镜是看不清的，什么电镜都不行，因为没有衬度，如果表面很平整你又想看表面形貌的话我建议你试试原子力显微镜AFM。
你的切面没有道理看不到的啊，你确定你的切面切得够好么，这样的薄膜，看切面制样要花一定功夫的。如果还有条件，去TEM上看看，可以看到切面的。
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精益求精，不断进取
9楼2013-01-30 14:20:15
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眼镜片1

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

要是放大倍数要求不大的话，建议采用环境扫描电镜，那个在20000倍以下，成像效果挺好的。
我的是喷金以后，用场发射电镜，效果也挺好的啊  
你是不是用手不小心抹掉了，二氧化硅薄膜很脆弱的
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10楼2013-02-08 23:24:57
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