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glorylin

金虫 (小有名气)

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[求助] 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。已有11人参与

RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上长了一层10nm 左右的SiO2薄膜，打算用AFM测厚度，那我该怎么制样。用针划？这样会不会把基底划破，或者Sio2薄膜能划破吗？或者利用光刻的方法制作边缘？

没做过AFM，所以完全不懂，求指教。非常感谢

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1楼 2014-12-30 11:24:12

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向合电子材料

新虫 (初入文坛)

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2楼2014-12-30 12:27:23

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yswyx

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【答案】应助回帖

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用HF腐蚀出一个台阶出来。
最好是光刻以后再腐蚀，因为AFM的扫描面积很小。

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3楼2014-12-30 17:08:45

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石银东

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【答案】应助回帖

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确实AFM的扫描面积很小，用来测量厚度确实有点不太方便，其实，你只是单纯的测量厚度的话，有很多不同仪器、不同的方法进行测试，而且测量比较快，操作简单，都能够测量纳米级别的厚度。
比如薄膜测厚仪运用光学的测量方法，同时可以获得薄膜的反射光谱、透射光谱等光学参数；
再比如面阻测试仪运用电学的测量方法，同时可以获得材料的电阻值。
你可以考虑下。。。

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4楼2014-12-30 17:20:12

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