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luoxi88

新虫 (初入文坛)

[求助] 用sem看的的厚度明显比afm要厚 猜测是很薄的在sem下看不到 用什么仪器可以看到啊 已有4人参与

新手上路求诸位大神指教啊，感激不尽！
问几个纳米厚的片状材料在什么仪器下能看到 用sem看的的厚度明显比afm要厚 猜测是很薄的在sem下看不到 那在什么仪器下可以看到啊？
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1楼 2014-03-17 14:38:52
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
AFM看到的应该是表面的不平度而不是截面的厚度吧？另外，要想看到的厚度尺寸准确，必须使厚度方向垂直于观察方向，若偏斜了，看到的自然比实际的要厚了。
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2楼2014-03-17 15:04:28
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happy3236

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SEM应该能看到的，是不是分辨率不对   不行就用TEM
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3楼2014-03-17 15:06:47
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神魔流转

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
几个纳米已经超出SEM分辨能力了，用AFM就行了。
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4楼2014-03-17 15:07:12
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luoxi88

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by happy3236 at 2014-03-17 15:06:47
SEM应该能看到的，是不是分辨率不对   不行就用TEM

SEM看到的比在AFM下面看到的厚，我觉得是不是几个纳米的薄片在sem下面看不到啊？ 可是TEM怎么看厚度方向啊？
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5楼2014-03-17 16:26:13
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luoxi88

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-03-17 15:04:28
AFM看到的应该是表面的不平度而不是截面的厚度吧？另外，要想看到的厚度尺寸准确，必须使厚度方向垂直于观察方向，若偏斜了，看到的自然比实际的要厚了。

哦 这样子 有道理 那我把样品分散在硅片上用AFM测 测到的不平度应该可以看做是厚度吧？
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6楼2014-03-17 16:28:53
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
6楼: Originally posted by luoxi88 at 2014-03-17 16:28:53
哦 这样子 有道理 那我把样品分散在硅片上用AFM测 测到的不平度应该可以看做是厚度吧？...

把薄膜重新在液相中分散难道不会严重改变薄膜的厚度等参数吗？
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7楼2014-03-17 17:53:03
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

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几个nm肯定SEM看不了了，电子束都打穿了，如果想试试可以降低加速电压到5kv一下，比如2kv试试，如果好剥离的话可以试试TEM，看厚度的话用AFM可以想办法用刀画个线啥的，把基底露出来就知道真实厚度了
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8楼2014-03-17 17:55:09
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