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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] AFM扫出来的结果和SEM不一致

不知为何同一个样品AFM扫出来的结果和SEM不一致，SEM中是那种比较大的片，AFM中却基本找不到同样长径比的片，只能得到较小的片，具体见图。另外AFM出的图会有很多大的颗粒。不知道是不是我制样的方式不对，我是把样品分散在乙醇中，超声一段时间后，把洗干净的硅片浸入溶液中几秒。
求小木虫各位大神给小弟指点迷津，不甚感激！
AFM扫出来的结果和SEM不一致
图片2.png


AFM扫出来的结果和SEM不一致-1
图片1.png
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1楼 2013-11-24 12:39:04
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

miracle2860

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 17:01:24
楼主可以在SEM下观察到一个区域，然后AFM上再去找那个区域，相同区域比较下看看
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8楼2013-11-25 16:38:22
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 11:00:24
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别
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2楼2013-11-24 14:59:35
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普通回帖

天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-11-24 14:59:35
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别

感谢专家的指正，下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的，怎么回事呢
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3楼2013-11-25 11:00:13
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 13:03:20
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天外飞鱼 at 2013-11-25 11:00:13
感谢专家的指正，下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的，怎么回事呢...

呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片，在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。
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4楼2013-11-25 12:11:47
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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by papaverme at 2013-11-25 12:11:47
呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片，在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。...

SEM中的那些大的片也是存在的，我是想在AFM中找到类似长径比的大片，但是重复做了好多次，AFM中就没有找到这些，这是什么原因呢
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5楼2013-11-25 13:03:10
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 16:03:05
原因有很多：测的地方不一样，两仪器工作原理不一样，一般形貌有误差
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我~心~依~旧
6楼2013-11-25 15:36:27
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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yuan999 at 2013-11-25 15:36:27
原因有很多：测的地方不一样，两仪器工作原理不一样，一般形貌有误差

SEM是测了几次，基本都是图中那样的形貌，AFM是测了好多次基本找不到大的片，应该不是测试位置的差异。即使仪器的原理不同，对样品的形貌测试应该不会有太大的区别，我这个差异有点太明显了，愁人额
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7楼2013-11-25 16:02:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
8楼: Originally posted by miracle2860 at 2013-11-25 16:38:22
楼主可以在SEM下观察到一个区域，然后AFM上再去找那个区域，相同区域比较下看看

这个，。。貌似对设备要求蛮高的嗯，最好有SEM-AFM联用的那种仪器
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9楼2013-11-25 16:51:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助, 我是做二维材料的，片的厚度是个很重要的参数，AFM也是很重要的表征。 2013-11-25 17:04:07
话说。。你为啥非要两个都测到呢，AFM感觉对你这个体系不是非常擅长的，用于测膜厚么
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10楼2013-11-25 16:52:09
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