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AFM扫出来的结果和SEM不一致
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天外飞鱼
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AFM扫出来的结果和SEM不一致
不知为何同一个样品AFM扫出来的结果和SEM不一致,SEM中是那种比较大的片,AFM中却基本找不到同样长径比的片,只能得到较小的片,具体见图。另外AFM出的图会有很多大的颗粒。不知道是不是我制样的方式不对,我是把样品分散在乙醇中,超声一段时间后,把洗干净的硅片浸入溶液中几秒。
求小木虫各位大神给小弟指点迷津,不甚感激!
图片2.png
图片1.png
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1楼
2013-11-24 12:39:04
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yuan999
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
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2013-11-25 16:03:05
原因有很多:测的地方不一样,两仪器工作原理不一样,一般形貌有误差
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我~心~依~旧
6楼
2013-11-25 15:36:27
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gxytju2008
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【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
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2013-11-25 11:00:24
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别
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2楼
2013-11-24 14:59:35
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天外飞鱼
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引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
gxytju2008
at 2013-11-24 14:59:35
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别
感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢
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3楼
2013-11-25 11:00:13
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papaverme
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★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
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很有帮助
2013-11-25 13:03:20
引用回帖:
3楼
:
Originally posted by
天外飞鱼
at 2013-11-25 11:00:13
感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢...
呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片,在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。
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4楼
2013-11-25 12:11:47
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