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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] AFM扫出来的结果和SEM不一致

不知为何同一个样品AFM扫出来的结果和SEM不一致,SEM中是那种比较大的片,AFM中却基本找不到同样长径比的片,只能得到较小的片,具体见图。另外AFM出的图会有很多大的颗粒。不知道是不是我制样的方式不对,我是把样品分散在乙醇中,超声一段时间后,把洗干净的硅片浸入溶液中几秒。
求小木虫各位大神给小弟指点迷津,不甚感激!
AFM扫出来的结果和SEM不一致
图片2.png


AFM扫出来的结果和SEM不一致-1
图片1.png
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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-11-24 14:59:35
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别

感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢
3楼2013-11-25 11:00:13
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查看全部 23 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 11:00:24
话说..你sem为啥用这么高电压啊,30kV,如果层很薄的哈这样高电压可能会造成看到的不是表面形貌的,建议可以降到5看看有没区别
2楼2013-11-24 14:59:35
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
天外飞鱼: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-25 13:03:20
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天外飞鱼 at 2013-11-25 11:00:13
感谢专家的指正,下次做SEM时调低下电压。但是SEM和AFM的差距是存在的,怎么回事呢...

呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片,在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。
4楼2013-11-25 12:11:47
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天外飞鱼

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by papaverme at 2013-11-25 12:11:47
呵呵 楼上专家的话已经说明原因了啊。AFM看到的那些小片,在SEM下已经由于电压过高而透明到你看不出来了。...

SEM中的那些大的片也是存在的,我是想在AFM中找到类似长径比的大片,但是重复做了好多次,AFM中就没有找到这些,这是什么原因呢
5楼2013-11-25 13:03:10
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